Vaisala K-PATENTS®Halbleiterrefraktometer PR-33-S
毛皮flussigchemische Halbleiterprozesse
静脉kompakt杂志Refraktometer麻省理工学院einem hochreinen modifizierten PTFE-Durchflusszellenkorper毛皮flussigchemische Halbleiterprozesse。Verbunden麻省民主党Prozess军队静脉0,25 - bis 1-Zoll-Pillar奥得河Flare-Anschlussstuck。
Das Vaisala K-PATENTS®Halbleiterrefraktometer PR-33-S uberwacht死Konzentration冯Fabrikchemikalien在Reinraumen和窝integrierten Prozesswerkzeugen (Mischen、Reinigen Atzen和CMP)。
Das PR-33-S besteht来自einem hochreinen modifizierten PTFE-Durchflusszellenkorper和einem Ethernet-Kabel, Das麻省理工学院jedem Standard-PoE-Schalter (Power-over-Ethernet) genutzt了萤石,嗯窝传感器麻省理工斯特罗姆祖茂堂versorgen和Daten杯计算机祖茂堂ubertragen。Das PR-33-S uberwacht死在Echtzeit Chemikalienkonzentrationen和liefert静脉和Ethernet-Ausgangssignal sofortige Ruckmeldung,要是死Chemikalie不窝Spezifikationen entspricht。那些能帮Alarme毛皮niedrige和hohe Konzentrationen konfiguriert了,嗯死Badlebensdauer祖茂堂方向行驶祖verlangern。毛死Bestimmung der Konzentration将一张optische Messung des Brechungsindex (nD)和der温静脉Losung durchgefuhrt。
Das PR-33-S将direkt线性麻省理工学院einem耀斑-奥得河Pillar-Anschlussstuck montiert, verfugt uber一张kompakte metallfreie Konstruktion和benotigt努尔geringe Stellflache。
Wichtigste Merkmale:
- Kalibrierung ruckfuhrbar NIST汪汪汪,Uberprufung麻省理工学院Standard-RI-Flussigkeiten validiertem和德国埃森。
- Patentierte CORE-Optik(美国专利Nr US6067151)。
- Fernanzeigedisplay uber以太网苏珥Datenerfassung Fernsteuerung。
- 死Kommunikation Standard-UDP / IP-Protokollen basiert再见。
- Prozesstemperaturbereich贝−20…+ 85°C。
- Schnelle Prozesstemperaturmessung军队eingebauten Pt1000和automatische的Temperaturkompensation。
Hauptvorteile
Komplett数字Gerat
Das Vaisala K -专利®Halbleiterrefraktometer PR-33-S将苏珥Prozesssteuerung和-uberwachung eingesetzt和liefert静脉kontinuierliches Ethernet-Ausgangssignal。Kompakte Bauart, Gerat将direkt内联montiert。
Genaue和稳定Messungen uber窝gesamten德国
沃勒尔Messbereich des Refraktionsindex (nD) 1, 3200国际清算银行5300年0 bis 100% pro重量entspricht。可选的德国nD 2600双4700毛皮有高频。Typische Genauigkeit RI + 0, 0002年typischerweise 0, 1%支持重量entspricht, z。b .毛皮HCl瓦塞尔。
死Messung将永远的军队Partikel、Blasen turbulente Stromungen奥得河Verunreinigungen im ppm-Bereich beeinflusst。
Einfache Wartung
Patentiertes设计der optischen Elemente Inneren化生。
Abweichungen。Neukalibrierung。Keine mechanischen Justierungen。
