Vesi on yksi merkittävimmistä epäpuhtauksista puolijohteiden valmistuksessa – mittaa kosteutta ja lämpötilaa tarkasti
SisäpiirinVitsissäpuolijohteen valmistukseen liittyenon totuuden siemen: ”Se ei ole mitään rakettitiedettä – se on paljon vaikeampaa!” Valmistus on monimutkaista ja kestää kauan prosessointiajan ollessa mitä vain välillä 12-20 viikkoa. Valmistus edellyttää kalliita laitteita, ja tarvittava alkuinvestointi on valtava. Tuotantolinja on tyypillisesti käyttökelpoinen noin kuusi vuotta, ennen kuin alkaa taas uusi investointikierros, ja koko tuotanto tapahtuu suhteellisen pienillä katteilla, joten vain korkea saanto takaa kannattavuuden. Siksi on ensisijaisen tärkeää välttää hävikkiä ja hylkyjä.
Vesi on merkittävin kontaminantti puolijohteiden valmistuksessa, ja joidenkin arvioiden mukaan sopimattomat kosteusolosuhteet aiheuttavat 25 % tuottojen menetyksistä. Jotta voidaan välttää ongelmat tuotteen laadussa ja saannossa, kosteutta ja lämpötilaa on valvottava puolijohteiden valmistuksessa hyvin huolellisesti. Vaisalan erittäin tarkat mittausratkaisut valmistusprosessin tärkeimpiä vaiheita varten tarjoavat lyhyet vasteajat ja ovat mukautettavissa monenlaisiin ympäristöihin. Tässä julkaisussa käsittelemme sellaisia parametreja kun ilmankosteus, ei-kaasumaisten aineiden kosteus, jäännöskosteus, kastepiste ja huurrepiste.
Korkean Teknologians Nanomittakaavan Puolijohdevalmistus
Erittäin suurta puhtautta vaativissa sovelluksissa, kuten korkean teknologian nanomittakaavan puolijohdevalmistuksessa, jäännöskosteutta voi olla vielä jäljellä sen jälkeen, kun pöly, rasva ja muut epäpuhtaudet on poistettu.tällävoi olla haitallinen vaikutus tuotteen laatuun ja saantoon。Vaikka Onkin Mahdotonta poistaa prosessistatäydellisestijoka ikoka ikonen vesimolekyyli，tavoitteena tulee tulee ollavedenMääränminimimointitarkkojen tarkkojen tarkkojen mittausten avulla。
puhdastilojenlämmitys，ilmastointi ja ilmanvaihto
puhdastilojenLämmityksen，ilmanvaihdon ja ilmastoinnin（Engl。LyhenneHVAC）järjestelmätovat tyypillisestisisäänrakennettuinailmanvaihtoyksiköihintai taiulettimensuodatinyksiköihin。Kosteus voi saastuttaa Prosessin，Reagoida prosessin kemikaalien kanssa tai aiheuttaa staattisensähkönpurkauksiinliittyviäongelmia。Joissakin tapauksissa tarvitaan suhteellisen kosteuden tarkkuutta±2％jaLämpötilantarkkuutta±0,25°C。vaisalanlähettimetsopivat ihanteellisesti ilmastointilaitteiden hallintaan joko iLmanvaihtolaitteeseen ti puhdastilan seineiniin asennettuina。
Tavoitekosteus ja ‑lämpötila voivat vaihdella puhdastilassa suoritettavan prosessin mukaan. Vaisalanhumicap®-anturiteknologia tarjoaa nopear vasteajan jaerittäinHyvänTarkkuudenMissätahansaympäristössäsekäsekäerinomaisenpitkänajan ajan ajan ajan aja stabiiliuden japitkätpitkäthuoltovälit。humicap perustuu polymeeriohutkalvoteknologiaan，ja anturit valmistetaan vaisalan vaisalan omissa puhdastiloissa。
Prosessilinjan kaasun laatu
Puhdastilatoiminnot edellyttävät laadukkaita prosessikaasuja, ja prosessilinjan kosteustasojen valvonta ehkäisee kosteuskontaminaatiota, joka voisi aiheuttaa materiaalihukkaa. Tavoitteena on yleisesti minimoida kosteus, ja oikea parametri tämän asian valvontaan on kastepiste. Anturia valittaessa nopea vasteaika ja kondensaationsieto ovat tärkeitä, koska ne auttavat takaamaan luotettavan toiminnan ja tekevät prosessin käynnistyksestä sujuvampaa jopa pitkäaikaisen seisokin jälkeen.
VaisalanDrycap®-teknologiassa käytetään Vaisalan omaa polymeeriohutkalvoteknologiaa, joka mahdollistaa erittäin herkän, joustavan optimoinnin monenlaisten ympäristöjen ja sovellusten mukaan sekä pitkän aikavälin stabiiliuden vaativissakin ympäristöissä. Puhdistustoiminnon avulla voi poistaa ei-toivotut jäämät ohutkalvolta, mikä edesauttaa tarkkuuden säilymistä pitkällä aikavälillä hankalissa olosuhteissa.
Vaisalan AutomaattinenkalibrointitoimintoImintoKäyttääVaisalanomaa suunnittelua ja algoritmia，Jolla voidaan unizinoidaympäristönaiheuttameaiheuttame aniheuttame anturirakenteiden anturirakenteiden venheneminen。Anturin suorituskyvynpitkäaikaikaisenvalvonnan ansiosta anturi voi korjata muutokset herkkyyteenpitkänaikavälinaikavälinstabiiliuden parantamiseksi。NäinAnturinKäyttöiästätuleehuomattavasti pidempi kuinperinteisilläantureilla ja haastavienympäristöolosuhteidenvaikutus vaikutus sen sen se se se se se se se se se se se sesuorituskykyynVähenee。MyösErittäinNopeavasteaika上的Vaisalan Antureilla，Joten MahdolliseenJärjestelmävikaanvoidaan reagoida nopeastijaehkäistijaehkäistäinnäinmatiaalihukka。
Paineilman Laatu
Paineilmanpuhtaus on yleensä ensiarvoisen tärkeää teollisuuslaitosten puhdastiloissa, ja ylimääräisen kosteuden tavoitetaso on erittäin alhainen: tavoitekastepiste voi olla alle −80 °C, ja järjestelmissä on tavallisesti useita hälytystasoja tämän tavoitetason yläpuolella.Vaisalan tuotteet testataan perinpohjaisesti ja kalibroidaan koko mittausalueelta tarkkojen anturilukemien varmistamiseksi，mikävähentääähentäääääääkalliinylikuivaukksen危险风险。Vaisalan Kosteusanturin nopea vasteaikamahdollistaahälytystensaamisen ajoissa，jotta mahdolliset ongelmat voidaan tunnistaa tunnistaa ja korjata nopeasti。
Kirjoita Kommentti