laadukkaiden puolijohdetuotteiden valmistusedellyttäälaadukkaitavalmistusposesseja ja niiden monitoraintia

aiemmassa artikkelissaKäsittelimmepuolijohdevalmistuksessaKäytettäviämittausratkaisuja。tässäblogikirjoituksessatarkastelemme puolijohdeteollisuuden valmistuslaitteistoja toimittavien toimittavien tahojen tahojen mittaustarpeita ja mittaustarpeita ja mittaustarkkuuden varmistarkkuuden varmistamistaMistamista vaisalan vaisalan kosteus-ja jaeaneantricitreilla。

Puolijohteiden valmistusprosessissa pienimmätkin muutokset olosuhteissa, kuten lämpötilassa, valotusajassa, kemikaalipitoisuudessa, materiaalin laadussa tai kontaminaatiossa, voivat pilata koko piikiekon tai pahimmassa tapauksessa koko tuotantoerän.TällaistenvaihteluidenLähteet在Eleminoitava上，Jotta Prosessista Tulee vakaa Ja ja ja hersosti toistettava，JaTätässässäovatavainasemassamassa erii prosessiparametriensesiparametiriensäätenkäätenKätenKäytettäytettätätätätätätätätätätätätätätätätätätätätätätuuks-Mittaauks.spiikiekkojenvalmistusprosessintärkeimmätvaiheetovatLitografia的Kemiallinen Puhdistus，Pinnoitus ja kehitys，Kiekkojen Kasvattaminen Ja Sahaus，Sirujen testausSekäpakkaaminenja kuljetus elektroniikkavalmistajalle。

Alla on Esitelty Vaisalan Mittausratkaisut puolijohdeprosessilaitteistoja valmistaville toimittajille。

Kemiallinen Puhdistus

Piikiekon puhdistusprosessin tavoitteena on Poistaa kemikaalit jaepäpuhtaudetmuuttamatta tai vahingoittamatta piikiekiekiekiekon pintaa tai Materiaalia tai Materiaalia。koska useimmissapuhdistusmenetelmissäkäytetänkäytetänkäytänkaleja，ontärkeää，ettäanturitkestävätniitä。

Vaisalan Kosteusantureissa在Kemikaalien puhdistustoiminto上，Joka Kuomentaa anturielementInsäännöllisestikemiallistenepäpuhtauksien，kutenliuotinhöyryjenhaihduttamiseksi。TämänOminaisuudenansiosta anturiavoidaanKäyttääKemikaalipitoisissaolosuhteissa。MyösAnturiIsessään在Suojattu Mekaanisesti Korroosiolta上，Ja JaJotkin Mittalaitteet上的varustetuLämmitySelementillä，JokaPitäämittäämitpäämithoutillänKuivana kuivana Ja Mahdollistaa mahdollistaa reaaliaikaikaisetkastepisteen kastepisteen bastepisteen bastepisteen bastelelmat。JosKäytösäsä在Toinen anturi TodellisenLämpötilanMittaukseen，Suhteellinen Kosteus voidaan laskea kohtuullisen helposti kastepisti kastepisteen ja prosessin ja prosessinlämpötilojenperusteella。useimmat vaisalan mittalaitteet voivattehdätämän自动田术。

Etsaus

kemikaalien puhdistuksenjälkeenpiikiekon pintaan etsataan mikrorakenteet。epäpuhtauksiaLisäämälläLuodaanpuolijohteen rakenne ja hapetaan eri eri erisekerrokset。Tuloksena saadaanuseitaPäällekkäisiäsähkörakennekerroksia，Jotka Muodostavat Esimerkiksi Monimutkaisen Mikroprosessorin Sirun。

puettavissa laitteissa ja muissa uiSinta teknologiaaasisältävissätuotteissatarvitaanyhäpienempiäja kevyempienteja komponentjaHallittavaäärimmäisentarkasti，SilläpienimMätkinpoikkeamatympäröiväröiväröiväröiväröiväröiväröiväröiväröiväröröröröSessa-Suhteellisessakosteessa kosteessa kosteessa jalämpötilassavotiikuttaa vaikuttaa linsin tonimin tonimin tonimin tonimin tonimin tonimin inimin titimin titimin tonikin toimin tonimin tonikitta，tämänvuoksilinssiä在säädettäväReaaliaikaikaisestimittausten Perusteella上。

Kosteus，lämpötilaJaympäröiväpaineovat ovatkeskeisiäparametreja，ja niiden avulla voidaan parantaa parantaa piikiekkoon kiviot kiviot painavan litografialaitteen laatua laatua laatua。päällystys-ja valmisteluvaiheessa taas taas tarvitaan veden mittauksia kuivausprosessin aikana。

Vaisala Indigo520：TäJAIndigo-Yhteensopiviaälykkäitämittapäitävoidaan käyttää itsenäisenä kosteusmittalaitteena, ja jos prosessissa tarvitaan useita mittapäitä, järjestelmään voidaan lisätä Indigo520-lähetin, jolla voidaan mitata myös absoluuttinen paine.

Piikiekon Osiointi

Kun puolijohteen rakenteet在luotu上，Yksittäisetsirut上的Eroteltava Piikiekosta。piikiekko voidaan osioida monella Eri Tavalla，Esimerkiksi Laserilla。YksiProsessintärkeistäVaiheistaonKastepistelämpötilanMittaus，KunPiikiekonKäsittely-tai osiointikalvo poistetaan。puolijohdekomponentittestataanMyösErilaisissaLämpötilaolosuhteissa，JottanetäyttävätVarmastivararasti vaaditutututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututututtuotemäritykset。Vaatimusluokkia在USUITA上，Aina Kulutuselektroniikasta ja teollisuudesta autoteollisuuteen，Sotilaskäyttöönjailmailualaan。

tyypillisesti testaustehdäänKokoLämpötila-alueella alkaen –40°C：StaTaivielämatalammastaLämpötilasta。KunLämpötilanousee testauksen jlkeen，piikiekoon voi muodostua kondensaatiota，joka voivahingoittaaherkkääpiiriä。

OEM-Integraatio

Vaisalan tehokkaat ratkaisut mahdollistavat helpon OEM-integraation kaste- ja huurrepisteiden valvontaan laitteistoissa, joilla yksittäiset sirut testataan sen jälkeen, kun ne on eroteltu piikiekosta.PienikokoisetMittapäätvoidaanintegroida testauskammionsisään，Jolloin saadaan reaaliaikaista tietoa tietoa vaatimusten mukaisesti。DMT143在YleiskäyttöinenLähetin上，Joka Toimii Laajalla Mittausalueella aina –70°C：Sta Jopa 60°C：Een。DMT152在Puolestaan​​Erikoislähetin上，Joka上的OptimoituItuitäinKuiviinolosuhteisiin –80°C：N JA –20°C：NVälisissälämpötiloissa。

Katso Webinaari：varmista saanto puolijohteen ja akkujen valmistuksessa