制造工场のプロセスのモニタリングと検出検出

cmpにおけるにおけるにおけるにおけるにおける工场工场スラリースラリーブレンドシステムのの异常検出検出検出ににに最适最适技术としてとして认め认められられてていいますます。。。屈折屈折率率率サンプリングなしなしなしを迅速特定できます。

特定/屈折温度屈折率特性に合わせ校正校正行っをはは，，屈折率屈折率计测计测计测计测によりにより铜铜ととタングタングタングステンステンステンのののの両方両方両方ののスラリースラリーについてについてについてについて，，，で求める。この最のの工场ででの长期は，，，低低ノードであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるであるプロセスプロセスプロセスプロセスプロセスプロセスプロセスのの计测によりによりにより，，，，，年年年间间间スラリースラリーブレンダー信頼性スラリーが検出れました。